EUV-Lithografie: Die Riesenmaschine | Bit-Rauschen 2022/14

Bit-Rauschen: Der Prozessor-Podcast von c’t

06-07-2022 • 36 Min.

Winzige Chipstrukturen verlangen riesige Lithografiesysteme. Die teuren Giganten mit EUV-Strahlung sind Thema im Podcast Bit-Rauschen, Folge 2022/14.